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產(chǎn)品目錄

Product catalog

超凈高純試劑廣泛應(yīng)用于太陽能光伏行業(yè)、液晶顯示、電子元器件、半導(dǎo)體行業(yè)制程的清洗或蝕刻


品名分子式純度級別
UP-SSUP-SUPEL
過氧化氫H202
鹽酸HCI


硫酸H2S04
硝酸Hn03


氫氟酸HF


氨水NH3,H20


醋酸C2H402


氫氧化鈉Na0H


氫氧化鉀K0H


其他高純試劑按照客戶要求研發(fā)生產(chǎn)




產(chǎn)品標準

Product standard
超凈高純電子化學(xué)品標準規(guī)格
EI級UP級UP-SUP-SS級
中小規(guī)模集成電路及電子元件加工工藝0.8微米以上集成電路及TFT-LCD制造工藝0.2-0.8微米集成電路加工工藝0.18-0.09微米線寬集成電路加工工藝
控制1微米粒徑粒子經(jīng)過0.2微米孔徑過濾器過濾,控制0.5微米粒子經(jīng)過0.05微米孔徑過濾器過濾,控制0.2微米粒子經(jīng)過0.05微米孔徑過濾器過濾,控制0.2微米粒子
金屬雜質(zhì)含量小于100ppb金屬雜質(zhì)含量小于10ppb金屬雜質(zhì)含量小于1ppb單項金屬離子雜質(zhì)含量≤0.1ppb
達到SEMI C1 C2標準100級凈化環(huán)境中灌裝,達到SEMIC7標準100級凈化環(huán)境中灌裝,達到SEMIC8標準100級凈化環(huán)境中灌裝,達到SEMIGrade4標準


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